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感应区熔及晶体生长装置

  • 所属分类:真空感应熔炼炉
  • 关 键 词:区熔炉,晶体生长炉
  • 浏览次数:8313次
  • 发布日期:2019-02-01
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  • 信息介绍
  • 一、设备简介

    感应区熔及晶体生长装置主要包含两种功能,一种用于材料的熔化提纯,一种用于材料的定向凝固。
    二、主要技术参数:

    1、工作温度:1500℃,常用温度:1400℃
    2、线圈升降行程:150毫米,采用步进电机驱动,升降速度可调节  速度范围0.1-600mm/min
    3、坩埚升降行程:150毫米,采用步进电机驱动,升降速度可调节 速度范围0.1-600mm/min
    4、石墨坩埚尺寸:φ40*60㎜
    5、感应电源振荡功率:15KVA,电源电压380V

    6、采用热电偶控温,0~1600℃

    7、可抽真空与充保护气氛,保护气氛压力≤0.02Mpa

    8、真空系统:用户自备

    三、结构简介

    感应区熔及晶体生长装置主要由感应加热装置,坩埚及保温装置、密封石英管装置、区熔装置、定向凝固装置、真空装置、保护气氛装置、测温装置、支架及操作台装置、可视化控制系统与冷却系统组成。

    1、感应加热装置:由一台振荡功率15kVA,振荡频率30-80kHZ的高频电源***感应加热

    2、坩埚及保温装置:由一只石墨坩埚,一种石英陶瓷保温套、保温底座和保温盖组成,保证传输到石英管的温度低于1000℃;保温盖开有观察孔,可观察到溶液状态。

    3、密封石英管装置:由一根石英管,两套密封法兰组成,采用硅胶密封圈密封,局部带水冷,密封法兰上带各种接口,方便其他装置接入。

    4、区熔装置:由步进电机、减速机、线性模组和连接块组成,带动线圈沿着石英管上下**,速度可调节,实现区熔目的。

    5、定向凝固装置:从石英管底部密封法兰处引入,带动密封结构,留有热偶接口,由步进电机、减速机、线性模组和连接块带动坩埚实现上下升降目的,实现定向凝固功能。

    6、保护气氛装置:石英管底部密封法兰留有充气接口,带阀门和进气接口,石英管顶部密封法兰留有出气接口与阀门,并装有安全阀,防止气压过高损坏元件

    7、测温装置:从定向凝固**管中接入,可直接跟石墨坩埚接触,测量石墨坩埚温度,并能根据设定温度自动调节高频电源的输出功率。

    8、支架及操作台装置:采用型材与板材拼接而成,人性化设计,操作方便,占地空间小。

    9、可视化控制系统:采用PLC+触摸屏控制整套系统,实现可视化操作,操作直观方便。还可实时记录各种实验数据并下载到PC端,方便用户调整工艺数据。

    10、冷却系统:由2P冷水机、两套阀门、分流器与管路组成,完全满足供水要求。



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