一、设备简介

感应区熔及晶体生长装置主要包含两种功能，一种用于材料的熔化提纯，一种用于材料的定向凝固。
二、主要技术参数：

1、工作温度：1500℃，常用温度：1400℃
2、线圈升降行程：150毫米，采用步进电机驱动，升降速度可调节  速度范围0.1-600mm/min
3、坩埚升降行程：150毫米，采用步进电机驱动，升降速度可调节 速度范围0.1-600mm/min
4、石墨坩埚尺寸：φ40*60㎜
5、感应电源振荡功率：15KVA，电源电压380V

6、采用热电偶控温，0~1600℃

7、可抽真空与充保护气氛，保护气氛压力≤0.02Mpa

8、真空系统：用户自备

三、结构简介

感应区熔及晶体生长装置主要由感应加热装置，坩埚及保温装置、密封石英管装置、区熔装置、定向凝固装置、真空装置、保护气氛装置、测温装置、支架及操作台装置、可视化控制系统与冷却系统组成。

1、感应加热装置：由一台振荡功率15kVA，振荡频率30-80kHZ的高频电源***感应加热

2、坩埚及保温装置：由一只石墨坩埚，一种石英陶瓷保温套、保温底座和保温盖组成，保证传输到石英管的温度低于1000℃；保温盖开有观察孔，可观察到溶液状态。

3、密封石英管装置：由一根石英管，两套密封法兰组成，采用硅胶密封圈密封，局部带水冷，密封法兰上带各种接口，方便其他装置接入。

4、区熔装置：由步进电机、减速机、线性模组和连接块组成，带动线圈沿着石英管上下**，速度可调节，实现区熔目的。

5、定向凝固装置：从石英管底部密封法兰处引入，带动密封结构，留有热偶接口，由步进电机、减速机、线性模组和连接块带动坩埚实现上下升降目的，实现定向凝固功能。

6、保护气氛装置：石英管底部密封法兰留有充气接口，带阀门和进气接口，石英管顶部密封法兰留有出气接口与阀门，并装有安全阀，防止气压过高损坏元件

7、测温装置：从定向凝固**管中接入，可直接跟石墨坩埚接触，测量石墨坩埚温度，并能根据设定温度自动调节高频电源的输出功率。

8、支架及操作台装置：采用型材与板材拼接而成，人性化设计，操作方便，占地空间小。

9、可视化控制系统：采用PLC+触摸屏控制整套系统，实现可视化操作，操作直观方便。还可实时记录各种实验数据并下载到PC端，方便用户调整工艺数据。

10、冷却系统：由2P冷水机、两套阀门、分流器与管路组成，完全满足供水要求。