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晶体生长炉

  • 所属分类:真空烧结炉
  • 关 键 词:真空烧结炉 晶体生长炉
  • 浏览次数:9564次
  • 发布日期:2019-02-01
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  • 信息介绍
  • 一·设备用途:

    主要用于LED行业的蓝宝石晶体制备。

    二·设备特点:

    本设备采用分体模块化设计,立式底出料结构,炉体,真空系统,电控系统分别模块化式设计,现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来,不用每样都分别拆分组装,安装方便快捷,***整洁大方。

    三·主要技术参数

    1.**加热温度:              1800℃

    2.功率:                    80Kw±10%单相整流
    2.冷态极限真空度:            ≤5×10E-**a

    3.压升率:                  ≤2Pa/h
    4.炉体尺寸:                Ф750×1065mm(直径×高)

    5·工作尺寸:                Ф320×300

    6.测温系统:                 热电偶

    7.控温精度:                 ±0.1℃,采用欧陆温控仪表

    8.加热区:                   一区

    9.坩埚升降参数:              位移行程 400mm

    慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm

     快速升降50-200mm/min(伺服控制)

    10.底出料参数:                 位移行程 850mm

      升降速度100-1000mm/min

    11·炉内充气压力:             ≤0.05MPa

    12·充放气系统:               两路(一路采用电磁阀充放气,一路预留充放气接口)



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