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    晶体生长炉

    • 所属分类:真空烧结炉
    • 关 键 词:真空烧结炉 晶体生长炉
    • 浏览次数:3521次
    • 发布日期:2019-02-01
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    • 信息介绍
    • 一·设备用途:

      主要用于LED行业的蓝宝石晶体制备。

      二·设备特点:

      本设备采用分体模块化设计,立式底出料结构,炉体,真空系统,电控系统分别模块化式设计,现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来,不用每样都分别拆分组装,安装方便快捷,***整洁大方。

      三·主要技术参数

      1.**加热温度:              1800℃

      2.功率:                    80Kw±10%单相整流
      2.冷态极限真空度:            ≤5×10E-**a

      3.压升率:                  ≤2Pa/h
      4.炉体尺寸:                Ф750×1065mm(直径×高)

      5·工作尺寸:                Ф320×300

      6.测温系统:                 热电偶

      7.控温精度:                 ±0.1℃,采用欧陆温控仪表

      8.加热区:                   一区

      9.坩埚升降参数:              位移行程 400mm

      慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm

       快速升降50-200mm/min(伺服控制)

      10.底出料参数:                 位移行程 850mm

        升降速度100-1000mm/min

      11·炉内充气压力:             ≤0.05MPa

      12·充放气系统:               两路(一路采用电磁阀充放气,一路预留充放气接口)



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