- 信息介绍
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一·设备用途:
主要用于LED行业的蓝宝石晶体制备。
二·设备特点:
本设备采用分体模块化设计,立式底出料结构,炉体,真空系统,电控系统分别模块化式设计,现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来,不用每样都分别拆分组装,安装方便快捷,***整洁大方。
三·主要技术参数
1.**加热温度: 1800℃
2.功率: 80Kw±10%单相整流
2.冷态极限真空度: ≤5×10E-**a3.压升率: ≤2Pa/h
4.炉体尺寸: Ф750×1065mm(直径×高)5·工作尺寸: Ф320×300
6.测温系统: 热电偶
7.控温精度: ±0.1℃,采用欧陆温控仪表
8.加热区: 一区
9.坩埚升降参数: 位移行程 400mm
慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度±0.01mm
快速升降50-200mm/min(伺服控制)
10.底出料参数: 位移行程 850mm
升降速度100-1000mm/min
11·炉内充气压力: ≤0.05MPa
12·充放气系统: 两路(一路采用电磁阀充放气,一路预留充放气接口)
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